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Strukturkeramik für die Metrologie

Strukturkeramik für Maschinenkomponenten in der Metrologie & Präzisionsmesstechnik

CoorsTek verfügt über ein umfassendes Angebot an luftgelagerten Führungskomponenten sowie Strukturkomponenten und -trägern zur Präzisionsmessung. Die hohe spezifische Steifigkeit und hervorragende Wärmestabilität machen unsere Keramikträger und Systemkomponenten zur idealen Wahl für die Koordinatenmessung, Halbleiterlithographie und Waferinspektion sowie in Flachbildschirmen und Elektronikbauteilen für Hochgeschwindigkeits-Anwendungen.

Erhöhung der Maschinenleistung

Isostatisch gepresste Hohlbalkenkonstruktionen ermöglichen höhere Geschwindigkeiten durch eine verbesserte Steifigkeit und ein geringeres Gewicht. Unsere hochreinen Keramikwerkstoffe weisen eine extrem niedrige Ausdehnungsrate auf – sie bieten eine außergewöhnliche Stabilität, um eine erhöhte Genauigkeit für die unterschiedlichsten Betriebstemperaturen zu gewährleisten.

Verbesserung der Maschinenzuverlässigkeit


Mit ihrer extremen Härte, Elastizität und geringen Reaktivität sind CoorsTek Hochleistungskeramiken langlebige, verschleißarme Komponenten, die sich als sehr widerstandsfähig gegen Feuchtigkeitsaufnahme, Korrosion, Abnützung und Dehnung erweisen.

Fertigungsoptionen

  • Kundenspezifische Formen, monolithische Komponenten und montierte Strukturen
  • Hohle Formen minimieren das Gewicht und gewährleisten maximale Steifigkeit
  • Große Werkzeugbestände bieten Konstrukteuren dimensionale Flexibilität
  • Zusammengesetzte Strukturen ermöglichen die Einhaltung kritischer Toleranzen und Designflexibilität.

Alumina structural beam for metrology applications.

Specific Stiffness
Coefficient of Thermal Expansion