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Allgemeine Anwendungen & Waferbearbeitung

Endeffektoren sind die Hand des Roboters, die Halbleiter-Wafer in Waferverarbeitungsgeräten und -trägern zwischen Positionen verschieben. Endeffektoren müssen präzise dimensioniert und wärmestabil sein und dabei eine glatte, abriebresistente Oberfläche aufweisen, um Wafers sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigung zu erzeugen. Die hohe Steifheit der keramischen Endeffektoren stellt präzise Handhabung der Wafer bei den schnellen Bewegungen des Roboters sicher. Die keramische Zusammensetzung erlaubt der Hand auch, hohe Temperaturen ohne Formänderung auszuhalten und ermöglicht zahlreiche Reinigungsverfahren, die andere Materialien nicht aushalten könnten. ESD-sichere Keramikwerkstoffe kommen häufig zum Einsatz, um statische Energie abzuleiten, die sich auf der Waferoberfläche bildet.

Verschiedene Endeffektoren, die auch als „Arme“ oder „Klingen“ des Wafer-Handhabungsroboters bezeichnet werden, werden dafür entworfen, verschiedene Wafer-Durchmesser, -dicken und -materialtypen zu unterstützen. Abhängig von der Prozessanwendung lassen sich Endeffektoren entwickeln, um Wafer mit wenig oder ohne Kontakt zu halten, Wafer mechanisch oder mit Unterdruck zu sichern oder Wafer für zweiseitige Prozesse umzudrehen. CoorsTek kann Ihnen helfen, einen hochpräzisen Endeffektor für Ihre Anwendung zu entwickeln – mit annähernd unbegrenzten Kombinationsmöglichkeiten für Werkstoffe, Beschichtungen, Stile, Formen, Gewichte, Oberflächen und Kontakt-, Unterdruck- oder Greiffunktionen. 

Komponenten der Halbleiterverarbeitung

CoorsTek ist Ihr Partner für kundenspezifische fortschrittliche Keramikkomponenten und -baugruppen, um einen höheren Durchlauf und einen besseren Ertrag Ihrer Anlagen in der Halbleiterbearbeitung zu unterstützen.

Unsere Werkstoffexperten arbeiten gerne mit Ihnen zusammen, um die optimale Lösung für Ihre Anforderungen in Bezug auf die Handhabung, Erwärmung und Verarbeitung von Wafern zu entwickeln.

Hergestellt aus hochwertiger Ingenieurkeramik

Durch technische Keramik werden Halbleiterkomponenten sauberer, langlebiger und effektiver. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl des besten Halbleitermaterials für Ihre Anwendung:

Alumina end effector blade for semiconductor wafer handling.

Endeffektoren

Endeffektoren sind die Hand des Roboters, die Halbleiter-Wafer in Waferverarbeitungsgeräten und -trägern zwischen Positionen verschieben. Endeffektoren müssen präzise dimensioniert und wärmestabil sein und dabei eine glatte, abriebresistente Oberfläche aufweisen, um Wafers sicher handhaben zu können, ohne Geräte zu beschädigen oder Partikelverunreinigung zu erzeugen. Die hohe Steifheit der keramischen Endeffektoren stellt präzise Handhabung der Wafer bei den schnellen Bewegungen des Roboters sicher. Die keramische Zusammensetzung erlaubt der Hand auch, hohe Temperaturen ohne Formänderung auszuhalten und ermöglicht zahlreiche Reinigungsverfahren, die andere Materialien nicht aushalten könnten. ESD-sichere Keramikwerkstoffe kommen häufig zum Einsatz, um statische Energie abzuleiten, die sich auf der Waferoberfläche bildet.

Verschiedene Endeffektoren, die auch als „Arme“ oder „Klingen“ des Wafer-Handhabungsroboters bezeichnet werden, werden dafür entworfen, verschiedene Wafer-Durchmesser, -dicken und -materialtypen zu unterstützen. Abhängig von der Prozessanwendung lassen sich Endeffektoren entwickeln, um Wafer mit wenig oder ohne Kontakt zu halten, Wafer mechanisch oder mit Unterdruck zu sichern oder Wafer für zweiseitige Prozesse umzudrehen. CoorsTek kann Ihnen helfen, einen hochpräzisen Endeffektor für Ihre Anwendung zu entwickeln – mit annähernd unbegrenzten Kombinationsmöglichkeiten für Werkstoffe, Beschichtungen, Stile, Formen, Gewichte, Oberflächen und Kontakt-, Unterdruck- oder Greiffunktionen. 

Technical ceramic semiconductor-grade QCH heater.

HEIZUNGEN & HEIZKOMPONENTEN

CoorsTek produziert eine Vielzahl von Halbleiterheizungen und -heizkomponenten aus Keramik, darunter:

  • Tecorundum SiC-Kompnenten
  • Aluminumnitrid (AlN)-Heizkomponenten
  • Heizkomponenten aus Quarz & Quarz-Karbon-Elementen
  • Siliziumnitrid (Si3N4)-Heizkomponenten

Siliziumkarbid hubstifte

HUBSTIFTE

Hubstifte werden in Baugruppen eingesetzt, um die Wafer durch die verschiedenen Positionen der Halbleiterbearbeitung anzuheben und zu bewegen. Da sie in Kammerumgebungen oder in anderen Verarbeitungsbedingungen eingesetzt werden, ist eine robuste Wärme- und Korrosionsbeständigkeit erforderlich.

group of vacuum break filters for semiconductor applications.

Vakuumfilter

Vakuumfilter werden in Vakuumprozessanlagen verwendet, um das Entlüften von Vakuumkammern zu beschleunigen und Partikelzusätze auf den Wafern zu minimieren, was höhere Erträge und eine gesteigerte Durchlaufleistung zur Folge hat. CoorsTek Vakuumfilter setzen poröse Keramiken ein, die speziell für verschiedene Arten und Größen von Vakuumkammern entwickelt wurden.

Subseptor assembly for semiconductor applications.

KUNDENSPEZIFISCHE KOMPONENTEN & BAUGRUPPEN

Von fortschrittlichen technischen Keramikmaterialien über Präzisionsbauteilen bis hin zu Reinraumaufmachungen verfügt CoorsTek über das notwendige Leistungsvermögen für Ihre nächstes Projekt. Wir arbeiten mit Ihnen zusammen, um spezielle Komponenten, Baugruppen und Qualitätsverfahren für Halbleiter zu entwickeln. Bitte wenden Sie sich an CoorsTek, um Ihre spezifische Anwendung zu besprechen.