Halbleiter-Wafer & Waferverarbeitung
Hochreine hochleistungsfähige Keramiken für die Halbleiter-Wafer und Waferverarbeitung
Die hochentwickelten technischen Keramikwerkstoffe von CoorsTek sind die ideale Wahl für Anwendungen in der Verarbeitung von Halbleiterwafern, einschließlich epitaktischen Wachstumsverfahren und Einfachkristallziehen. Neben der Herstellung von Kohlegraphit-Suszeptoren und Quarztiegeln bieten die GaN-auf-Si-Epiwafer von CoorsTek eine kostengünstigere Option für die Entwicklung kleinerer, schnellerer und kühlerer Leistungsgeräte.
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Präsentation:
Keramiklösungen zur Weiterentwicklung der Halbleiterverarbeitung, (Auf Englisch - Ceramics Expo 2018
Article:
Ceramic Industry: Keramiken in Halbleiterqualität machen die Zukunft der Elektronik möglich, Auf Englisch - Juni 2017
