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Allgemeine Anwendungen und Waferhandhabung

ALLGEMEINE HALBLEITERANWENDUNGEN

Komponenten der Halbleiterverarbeitung

CoorsTek ist Ihr Partner für kundenspezifische fortschrittliche Keramikkomponenten und -baugruppen, um einen höheren Durchlauf und einen besseren Ertrag Ihrer Anlagen in der Halbleiterbearbeitung zu unterstützen.

Unsere Werkstoffexperten arbeiten gerne mit Ihnen zusammen, um die optimale Lösung für Ihre Anforderungen in Bezug auf die Handhabung, Erwärmung und Verarbeitung von Wafern zu entwickeln.

Hergestellt aus hochwertiger Ingenieurkeramik

Durch technische Keramik werden Halbleiterkomponenten sauberer, langlebiger und effektiver. Wir helfen Ihnen bei der Auswahl des besten Halbleitermaterials für Ihre Anwendung:

Alumina end effector blade for semiconductor wafer handling.

Endeffektoren

Endeffektoren, auch als "Klingen" der Halbleiterhandhabung bezeichnet, dienen als Hand des Roboters, um Halbleiterwafer zwischen Positionen zu anzufassen und zu bewegen. Endeffektoren müssen daher maßgenau und wärmestabil sein sowie gleichzeitig eine glatte und abriebfeste Oberfläche aufweisen, um Wafer sicher zu handhaben, ohne dass eine Kontamination durch Partikel stattfindet. In einigen Fällen werden ESD-sichere Keramiken verwendet, um eine statische Aufladung auf der Waferoberfläche zu verhindern. 

Technical ceramic semiconductor-grade QCH heater.

HEIZUNGEN & HEIZKOMPONENTEN

CoorsTek produziert eine Vielzahl von Halbleiterheizungen und -heizkomponenten aus Keramik, darunter:

  • Tecorundum SiC-Kompnenten
  • Aluminumnitrid (AlN)-Heizkomponenten
  • Heizkomponenten aus Quarz & Quarz-Karbon-Elementen
  • Siliziumnitrid (Si3N4)-Heizkomponenten

Silicon carbide lift pins.

HUBSTIFTE

Hubstifte werden in Baugruppen eingesetzt, um die Wafer durch die verschiedenen Positionen der Halbleiterbearbeitung anzuheben und zu bewegen. Da sie in Kammerumgebungen oder in anderen Verarbeitungsbedingungen eingesetzt werden, ist eine robuste Wärme- und Korrosionsbeständigkeit erforderlich.

group of vacuum break filters for semiconductor applications.

Vakuumfilter

Vakuumfilter werden in Vakuumprozessanlagen verwendet, um das Entlüften von Vakuumkammern zu beschleunigen und Partikelzusätze auf den Wafern zu minimieren, was höhere Erträge und eine gesteigerte Durchlaufleistung zur Folge hat. CoorsTek Vakuumfilter setzen poröse Keramiken ein, die speziell für verschiedene Arten und Größen von Vakuumkammern entwickelt wurden.

Subseptor assembly for semiconductor applications.

KUNDENSPEZIFISCHE KOMPONENTEN & BAUGRUPPEN

Von fortschrittlichen technischen Keramikmaterialien über Präzisionsbauteilen bis hin zu Reinraumaufmachungen verfügt CoorsTek über das notwendige Leistungsvermögen für Ihre nächstes Projekt. Wir arbeiten mit Ihnen zusammen, um spezielle Komponenten, Baugruppen und Qualitätsverfahren für Halbleiter zu entwickeln. Bitte wenden Sie sich an CoorsTek, um Ihre spezifische Anwendung zu besprechen.