IONENIMPLANTATE
Keramikkomponenten für Ionenimplantatgeräte
Von präzisen Luftlagerkomponenten und Trägern bis hin zu ultraflachen Vakuumchucks und thermisch stabilen Stiften, Schrauben und Rahmen werden fortschrittliche Keramikkomponenten für die anspruchsvollen Anforderungen und die sensible Beschaffenheit von Ionenimplantsverfahren entwickelt. CoorsTek bietet fortschrittliche, HF-Keramikkomponenten für hochleistungsfähige onenimplantatgeräte, wie zum Beispiel:
Luftlager bieten die Präzision, Sauberkeit und Geschwindigkeit, die für die Halbleiterionenimplantation erforderlich sind. Keramische Luftlagerkomponenten und Führungsbahnen bieten eine ultrapräzise, unnachgiebige und berührungslose Handhabung und reibungslose Bewegung und gewährleisten gleichzeitig ein sauberes, stabiles und kontaminationsfreies Ergebnis. Erfahren Sie mehr.
INTERFEROMETER-REFERENZSPIEGEL
CoorsTek keramische Interferometer-Referenzspiegel enthalten Keramik mit geringer Ausdehnung mit den genauesten verfügbaren Abmessungen, Oberflächeneigenschaften und Dimensionsstabilitäten.
waagenhalterungen
CoorsTek bietet Präzisionsmesskomponenten für eine saubere, stabile und kontaminationsfreie Leistung in Umgebungen mit unterschiedlichen Temperaturen und Anwendungen.