PureSiC® CVD Siliziumkarbid
SiC
Überblick über PureSiC® CVD Siliziumkarbid
Siliziumkarbide mit chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) widerstehen Korrosion in extremen Umgebungen und bewahren gleichzeitig die hohe Festigkeit und hervorragenden Verschleißeigenschaften von Siliziumkarbid. Diese Fähigkeit, kombiniert mit der außergewöhnlichen Reinheit von 99,9995 %, trägt zur schnelleren und effizienteren, hochreinen Halbleiterfertigung bei.
Beispielanwendungen
- Waferchucks
- Ätzkomponenten
CoorsTek Formulierungen
Wenden Sie sich an einen CoorsTek-Experten, um eine CVD-Siliziumkarbidlösung für Ihre Anwendung auszuwählen.
Biegefestigkeit, MOR (20 °C) |
MPa |
460 - 517 |
Bruchzähigkeit, KIc |
MPa m1/2 |
3.5 - 4.0 |
Wärmeleitfähigkeit (20 °C) |
W/m K |
170 |
Wärmeausdehnungskoeffizient |
1 x 10-6/°C |
4.6 |
Maximale Einsatztemperatur |
°C |
1600 |
Durchschlagfestigkeit (6.35mm) |
ac-kV/mm |
- |
Dielektrischer Verlust (tan δ) |
1MHz, 25 °C |
- |
Durchgangswiderstand (25°C) |
Ω-cm |
0.1 to 105 |
Die Informationen in dieser Tabelle dienen nur als allgemeine Referenz der Werkstoffeigenschaften. Der Kunde sollte sich dessen bewusst sein, dass die genauen Werkstoffeigenschaften je nach Produktkonfiguration variieren können, jedoch ist es möglich, die meisten Messwerte der jeweiligen Eigenschaften zu bewahren, sofern dies im Voraus festgelegt wird. Keine Angaben in diesem Dokument werden als absolute technische Daten bzw. als Garantie oder Zusicherung angegeben oder ausgelegt. Kontaktieren Sie CoorsTek, um Unterstützung in den Bereichen kostengünstige Planung, Entwicklung und Herstellung zu erhalten. CoorsTek bietet mehr als 300 Varianten, einschließlich verschiedener Formgebungsverfahren und Brenntechniken. Nicht alle Varianten sind auf der aktuellen Website zu finden.