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UltraClean™ Rekristallisiertes Siliziumkarbid

Überblick über UltraClean™ rekristallisiertes Siliziumkarbid

Rekristallisiertes Siliziumkarbid kann wie reaktionsgebundenes Siliziumkarbid mit Siliziummetall infiltriert werden. Das Infiltrationsverfahren findet jedoch nach dem erstmaligen Sintern statt. Diese Teilchenstruktur bietet nicht nur hervorragende Werkstoffeigenschaften, sondern ermöglicht auch eine äußerst präzise Herstellung bei gleichzeitiger hoher Reinheit, die in Industriezweigen wie der Halbleiterfertigung notwendig ist.

Beispielanwendungen

  • Komponenten zur Halbleiterbearbeitung
  • Halbleiter-Paddel

 

 

CoorsTek Formulierungen

Wenden Sie sich an einen CoorsTek-Experten, um eine kundenspezifische Lösung aus rekristallisiertem Siliziumkarbid für Ihre Anwendung zu besprechen.

Biegefestigkeit, MOR (20 °C)

MPa

210 - 480

Bruchzähigkeit, KIc

MPa m1/2

4.0 - 4.5

Wärmeleitfähigkeit (20 °C)

W/m K

105 - 225

Wärmeausdehnungskoeffizient

1 x 10-6/°C

4.2 - 4.8

Maximale Einsatztemperatur

°C

1350 - 1600

Durchschlagfestigkeit (6.35mm)

ac-kV/mm

-

Dielektrischer Verlust (tan δ)

1MHz, 25 °C

-

Durchgangswiderstand (25°C)

Ω-cm

< 0.1 to 1.0

Die Informationen in dieser Tabelle dienen nur als allgemeine Referenz der Werkstoffeigenschaften. Der Kunde sollte sich dessen bewusst sein, dass die genauen Werkstoffeigenschaften je nach Produktkonfiguration variieren können, jedoch ist es möglich, die meisten Messwerte der jeweiligen Eigenschaften zu bewahren, sofern dies im Voraus festgelegt wird. Keine Angaben in diesem Dokument werden als absolute technische Daten bzw. als Garantie oder Zusicherung angegeben oder ausgelegt. Kontaktieren Sie CoorsTek, um Unterstützung in den Bereichen kostengünstige Planung, Entwicklung und Herstellung zu erhalten. CoorsTek bietet mehr als 300 Varianten, einschließlich verschiedener Formgebungsverfahren und Brenntechniken. Nicht alle Varianten sind auf der aktuellen Website zu finden.