小国事業所
小国事業所はクアーズテックの主力事業所です。水力発電所の電力を利用した最新鋭の生産拠点で、主に半導体製造装置向けの石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品を製造しています。小国事業所ではISO9001およびISO14001の認定を取得し、ユーザーの皆様に安定した品質の製品をお届けしています。
生産品目
- 高純度石英ガラス製品
- TPSS 炭化ケイ素セラミックス
- 特殊炭素・高純度黒鉛製品
- QCH-HEATER®
- カーボンブラシ
炭化ケイ素ボート
枚葉式サセプター
QCH-HEATER®