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計測用構造セラミックス

計測と精密測定機器部品用の構造セラミックス

クアーズテックは、エアベアリングのガイドウェイ部品、精密測定用構造部品およびビームの豊富なラインナップを提供しています。高い比剛性と優れた熱安定性により、当社のセラミックビームとステージ部品は、座標測定機、半導体リソグラフィとウェーハ検査、フラットパネルディスプレイプロセス、高速エレクトロニクスアセンブリのアプリケーションに最適です。

機械の性能向上

静水圧プレス成形の中空ビーム設計は、高剛性と軽量化による高速化を可能にします。当社の高純度セラミック材料は、非常に低い膨張特性を示し、広い動作温度範囲にわたって、より高い精度のための優れた安定性を提供します。

 

機械の信頼性向上

極めて硬く、弾力性があり、反応性が低い、クアーズテックの先進セラミックスは、耐摩耗性が高く、耐湿性、耐食性、疲労強度、クリープに優れた長寿命の部品です。

 

製造オプション

  • カスタム形状、単結晶部品と組立構造体
  • 中空形状により重量を最小限に抑え、最大の剛性を確保します
  • 大規模な工具在庫により、設計者に柔軟な寸法を提供します
  • 組立構造により、重要な交差と設計柔軟性のマッチングを可能にします。

 

Alumina structural beam for metrology applications.

Specific Stiffness
Coefficient of Thermal Expansion