イオン注入

炭化ケイ素ビームによる高精度測定

イオン注入装置用セラミック部品

精密エアベアリング部品やビームから、超平坦な真空チャックや熱的に安定したピン、ネジ、フレームに至るまで、先進セラミック部品は、イオン注入プロセスの厳しい要求と繊細な性質に対応するために設計されています。クアーズテックは、高性能イオン注入装置用に、以下の高度なRF透過セラミック部品を提供しています。

エアベアリングは、半導体イオン注入に必要な精度、クリーン、スピードを提供します。セラミック製エアベアリング部品とガイドウェイは、クリーンで安定した汚染物質のない性能を確保しながら、超精密、高剛性、非接触ハンドリング、摩擦のない動きを提供します。詳しくはこちら

干渉計リファレンスミラー

クアーズテックのセラミック干渉計リファレンスミラーは、最も精密な形状、表面特性、寸法安定性を持つ低膨張の先進セラミックスを採用しています。

スケールマウント

クアーズテックは、温度やアプリケーションの環境にかかわらず、クリーンで安定した、汚染物質のない性能を実現する精密測定部品を提供しています。