リソグラフィーとウェーハ検査
リソグラフィーとウェーハ検査用セラミック部品
次世代リソグラフィーとウェーハ処理アプリケーションに最適な当社の超高純度セラミック部品は、汚染を最小限に抑え、極めて長い寿命性能を提供します。
リソグラフィーとウェーハ検査部品
ケミカルアタックに強く、熱的に安定した当社の高純度セラミック部品は、リソグラフィー処理、ウェーハ処理（低汚染）、ウェーハ検査（極めて高い耐久性と硬度、寸法安定性）に最適で、以下アプリケーションが含まれます：
推奨のリソグラフィーとウェーハ検査材料
フォトマスク基板
クアーズテックのフォトマスク用基板は、高純度の合成石英ガラスから作られており、優れた紫外線および可視光線透過率、熱安定性、電気絶縁性、低複屈折性、耐久性のある化学的安定性を実現しています。高度で大型品まで実現可能な研磨技術により、ウェーハから大型フラットパネルディスプレイ(FPD)までの微細パターニングに理想的なフォトマスク基板です。
ウェーハチャック
当社の超平坦セラミック真空ウェーハチャック、ステッパーチャック、多孔質チャック、静電チャックは、半導体ウェーハプロセスの歩留まり管理を改善します。低表面接触の構造により、繊細なアプリケーションにおける裏面パーティクルのリスクを最小限に抑えます。当社のウェーハチャックは以下を提供します：
- 超平坦性能
- 鏡面研磨
- 卓越した軽量性
- 高剛性
- 低熱膨張
- 直径 300 mm 以上
- 優れた耐摩耗性
ウェーハステージコンポーネントとテーブル
精密セラミック部品は、検査やプロセス中に使用されるウェーハステージやテーブルの耐久性と取り扱いを向上させます。クアーズテックの部品とテーブルは、精密な寸法安定性、超平坦性と平滑性、および検査と処理中のウェーハの真空保持を提供します。低表面接触の特徴により、裏面パーティクルを最小限に抑えます。
