静電気放電対策セラミックス
ESD保護セラミックスの概要
ESD保護セラミックスの概要
クアーズテックは静電気の蓄積から繊細な部品を保護するために、静電気放電対策（ESD-safe）材料を開発しました。
StatSafe™セラミックスは、ウェーハ処理装置に蓄積された静電気を逃がす体積抵抗率を備えており、繊細なマイクロエレクトロニクス部品を静電気から保護するために開発されました。
StatSafeは、表面コーティングではなくモノリシック材料として設計されているため、剥離や脱落の懸念がなく、製品は、最大直径500mm×厚さ25mmまで、正確な公差でレーザーマークや機械加工が出来ます。また、モノリシック材料は、二次コーティングや熱処理が不要なため、製品設計において費用対効果の高いアプローチが可能です。
StatSafeの性能の鍵は、多相微細構造の設計です。クアーズテックは、半導体グレードに実績のあるアルミナ基盤から出発し、反応混合物中において導電相を形成する配合を開発しました。その結果、優れた剛性と静電気放電特性、精度の高い表面仕上げ（0.3 µm）と寸法安定性のある材料が得られました。
StatSafeのアプリケーションには次のものがあります：
- エンドエフェクター
- マイクロエレクトロニクス部品
- ピックアンドプレースツール
- 水処理アプリケーション
静電気放電対策コーティング
ArcResist™は、クアーズテック独自のコーティング法で、セラミック部品の電気的特性が最も必要とされる部分（表面）のみを変化させます。これにより、バルク特性を損なうことなく表面特性のみを変えることが出来ます。ArcResistは、高アルミナ組成固有の絶縁性とバルクの機械的特性を保持しつつ、用途によって必要な放電性または導電特性を付与します。詳細はこちら >>
StatSafe先進セラミックの微細構造
クアーズテックのアドバイザーにお問い合わせの上、お客様のアプリケーションに合わせたカスタムメイドの静電気放電対策ソリューションについてご相談ください。
