石英

製品概要

合成石英または溶融シリカ（酸化ケイ素、SiO2）は、極めて低い熱膨張率により優れた耐熱衝撃性を示し、さらに高純度です。これら独自の特性と熱安定性により、クアーズテックの石英材料は、急速昇降温、光学、および単結晶シリコン引き上げ等の重要な半導体製造プロセスで使用されています。

• 耐熱衝撃性
• 透明
• 高純度
• 耐食性

セラミックスの専門知識

お客様のご用途に必要な石英製品をお求めの際には、クアーズテックの専門家にご相談ください。

 

特性	単位	値
曲げ強度, MOR (20 °C)	MPa	105
破壊靭性 (KⅠC)	MPa m1/2	—
熱伝導率 (20° C)	W/m K	1.4 - 1.5
熱膨張係数	1x10-6/°C	0.5 - 0.65
最大使用温度	°C	1000 - 1100
誘電体強度 (6.35mm)	ac-kV/mm	—
誘電損失 (tan delta)	1MHz, 25 °C	1.5 x 10-4
体積抵抗率(25° C)	Ω-cm	1018