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シリコン

製品概要 

単結晶シリコンSi)は、シリコン半導体ウェハに使用される材料と同じで、不純物がほとんどありません。 クアーズテックはこの超高純度シリコンを使用して、プレート、ロッド、リング、およびカスタム形状のシリコンウェーハ処理用精密部品を製造しています。 

セラミックスの専門知識 

クアーズテックの専門家までご連絡いただければ、お客様のアプリケーションに合ったカスタムメイドのシリコンソリューションについてご相談に応じます。 

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特性 単位
曲げ強度 (MOR) (20 °C) MPa 300
破壊靭性 (KⅠC) MPa m1/2

熱伝導率 (20° C)

W/m K 157
熱膨張係数 1x10-6/°C 3.9
最大使用温度 °C 1300
誘電体強度 (6.35mm) ac-kV/mm
誘電損失 (tan delta) 1MHz, 25 °C
体積抵抗率 (25°C) Ω-cm 2.4 x 104