シリコン
製品概要
単結晶シリコン(Si)は、シリコン半導体ウェーハに使用される材料と同じで、不純物がほとんどありません。 クアーズテックはこの超高純度シリコンを使用して、プレート、ロッド、リング、およびカスタム形状のシリコンウェーハ処理用精密部品を製造しています。
特性 | 単位 | 値 |
曲げ強度 (MOR) (20 °C) | MPa | 300 |
破壊靭性 (KⅠC) | MPa m1/2 | — |
熱伝導率 (20° C) |
W/m K | 157 |
熱膨張係数 | 1x10-6/°C | 3.9 |
最大使用温度 | °C | 1300 |
誘電体強度 (6.35mm) | ac-kV/mm | — |
誘電損失 (tan delta) | 1MHz, 25 °C | — |
体積抵抗率 (25°C) | Ω-cm | 2.4 x 104 |