イットリア

イットリアの概要 

イットリア（酸化イットリウム、Y₂O₃）は、優れた耐プラズマ性と高温アプリケーション適応性をあわせ持つ、希土類セラミックです。イットリアはジルコニアのような他のセラミック組成を安定させるためによく使用されます。 

クアーズテックのExyria™イットリアは、優れた耐食性を必要とする部品の固体部品とコーティングの両方に対応することができます。使用可能なセラミックおよび金属部品にPlasmaResist™コーティングを施すと、高純度イットリアの耐腐食バリアが形成されます。 

• 耐プラズマ性 

• 高い安定性 

• 耐熱性 

• 様々なアプリケーションに対応 

クアーズテック独自の配合

お客様のアプリケーションに合わせた、カスタムメイドのイットリアをお求めの際には、クアーズテックの専門家にご相談ください。

特性	単位	値
曲げ強度, MOR (20 °C)	MPa	100 - 430
破壊靭性, KIc	MPa m1/2	1.0 - 4.0
熱伝導率 (20 °C)	W/m K	10 - 14
熱膨張係数	1x10-6/°C	7.9 - 8.2
最大使用温度	°C	2000
誘電体強度 (6.35mm)	ac-kV/mm	16.5
誘電損失 (tan delta)	1MHz, 25 °C	4 x 10-4
体積抵抗率 (25°C)	Ω-cm	1014 to 1016