에피택시

에피택셜 성장 공정용 탄소 서셉터

에피택시 성장 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 강한 화학 세정 조건을 견뎌야 합니다. 쿠어스텍의 Clear Carbon™ 서셉터는 이러한 까다로운 에피 장비 환경에 맞춰 정밀하게 설계된 제품입니다. 고순도 실리콘 카바이드(SiC)로 코팅한 흑연 구조는 뛰어난 내열성과 열 분포 균일성을 제공하여 에피층의 두께와 저항을 일정하게 유지할 수 있도록 돕고, 화학 세정에도 잘 견딜 수 있는 강한 내화학성을 갖추고 있습니다. 또한 미세한 SiC 결정 코팅은 표면을 청결하고 매끄럽게 유지해 줍니다. 웨이퍼는 전체 면적에서 서셉터와 여러 지점에 접촉하기 때문에 이 매끄러운 표면은 웨이퍼 핸들링에 매우 중요한 요소입니다.

• 고순도 SiC 코팅 흑연
• 뛰어난 내열성과 열 균일성
• 매끄러운 표면을 위한 미세 SiC 결정 코팅
• 강한 내화학성