일반 공정 및 웨이퍼 취급

일반 반도체 응용 및 웨이퍼 핸들링

반도체 공정용 부품

쿠어스텍은 반도체 공정 장비의 생산성과 수율을 극대화할 수 있도록 고객 맞춤형 고성능 세라믹 부품 및 어셈블리를 제공합니다. 고온, 고플라즈마, 고청정 환경에서도 안정적인 성능을 발휘하도록 설계된 쿠어스텍의 부품은 웨이퍼 핸들링, 가열, 에칭 및 증착 등 다양한 공정 단계에 최적화된 솔루션을 구현합니다.

당사의 세라믹 전문가들은 고객의 공정 요건을 면밀히 분석하고, 장비 성능을 극대화할 수 있는 최적의 솔루션을 함께 만들어갑니다.

고품질 엔지니어링 세라믹으로 제작된 부품

정밀하게 설계된 세라믹 소재는 반도체 공정 부품을 더 청정하고, 더 오래가며, 더 효율적으로 만듭니다. 귀사의 공정에 가장 적합한 반도체 등급 소재를 선택하실 수 있도록 쿠어스텍이 함께하겠습니다.

엔드 이펙터

엔드 이펙터(또는 웨이퍼 핸들링 블레이드)는 반도체 웨이퍼를 공정 위치 간에 이송하는 로봇의 ‘손’ 역할을 합니다. 웨이퍼를 안전하게 취급하려면 엔드 이펙터는 치수 정밀도와 우수한 열 안정성을 갖추고 있어야 하며, 표면은 매끄럽고 마모에 강해 파티클 오염을 유발하지 않아야 합니다. 일부 케이스에서는 정전기 축적을 방지하기 위해 ESD 대응 세라믹 소재가 사용되며, 이는 웨이퍼 표면의 손상을 방지하는 데 효과적입니다.

히터 및 가열 부품

쿠어스텍은 반도체 공정에 최적화된 다양한 세라믹 기반 히터 및 가열 부품을 제공합니다. 엄격한 청정도와 열 안정성이 요구되는 환경에서도 정밀한 온도 제어와 고신뢰성 성능을 구현합니다.

• 알루미늄 나이트라이드 (AlN) 히터
• 석영 및 석영-탄소 히터
• 질화규소 (Si₃N₄) 히터

리프트 핀 (Lift Pins)

리프트 핀은 반도체 공정 중 웨이퍼를 들어 올려 공정 위치 간에 정밀하게 이동시키는 핵심 부품입니다. 챔버 내부와 같은 고온·부식성 환경에 노출되므로 뛰어난 내열성과 내식성이 필수 요건입니다. 쿠어스텍은 이러한 조건을 충족하는 고신뢰성 세라믹 리프트 핀을 통해 정밀한 웨이퍼 제어와 안정적인 공정 운영을 지원합니다.

진공 브레이크 필터

진공 브레이크 필터는 진공 공정 장비에서 챔버의 벤팅(재압력화)을 빠르게 수행하고 웨이퍼 표면의 파티클 부착을 줄여 수율과 처리량을 향상시킵니다. 쿠어스텍의 필터는 다양한 형태와 크기의 진공 챔버에 맞춰 설계되며 특수 엔지니어링된 다공성 세라믹을 적용해 파티클 오염을 효과적으로 저감하고 공정 안정성을 높입니다.

맞춤형 부품 및 어셈블리

쿠어스텍은 첨단 세라믹 소재부터 정밀 조립, 클린룸 패키징까지 귀사의 프로젝트를 완성할 폭넓은 역량을 갖추고 있습니다. 고객과 긴밀히 협력해 특화된 부품, 어셈블리, 반도체 공정 전반에 걸친 솔루션을 함께 설계합니다. 귀사의 요구에 최적화된 맞춤형 솔루션, 지금 쿠어스텍과 상담해보세요.