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이온 주입

정밀 계측용 실리콘 카바이드 빔

이온 주입 장비용 세라믹 부품

정밀한 에어 베어링 부품과 빔부터 초평탄 진공 척, 열안정성이 뛰어난 핀, 나사, 프레임에 이르기까지, 첨단 세라믹 부품은 이온 주입 공정의 까다롭고 민감한 요구 조건을 충족하도록 설계됩니다. 쿠어스텍은 고성능 이온 주입 장비에 최적화된 RF 투과성 세라믹 부품을 제공합니다.

에어 베어링 부품

에어 베어링은 반도체 이온 주입 공정에 필요한 정밀도, 청정도, 고속 동작을 제공합니다. 세라믹 에어 베어링 부품과 가이드웨이는 초정밀하고 견고한 비접촉식 핸들링과 마찰 없는 이동을 구현하며 오염 없이 안정적이고 청정한 성능을 보장합니다. 자세히 보기

간섭계용 기준 미러

쿠어스텍의 세라믹 간섭계 기준 미러는
극도로 정밀한 형상, 표면 특성, 치수 안정성을 구현할 수 있는 저열팽창 엔지니어드 세라믹으로 제작됩니다.

스케일 마운트

쿠어스텍은 다양한 온도와 응용 환경에서도 청정하고 안정적이며 오염 없는 성능을 유지할 수 있도록 정밀 계측용 부품을 제공합니다.