정전기 방전(ESD) 안정화 세라믹
ESD 안정화 세라믹 개요
쿠어스텍은 정전기 축적으로부터 민감한 부품을 보호하기 위해 ESD(정전기 방전) 안정화 소재를 개발해왔습니다.
StatSafe™ 세라믹은 웨이퍼 가공 장비에서 축적된 정전기를 서서히 방전시켜, 민감한 마이크로전자 부품을 정전기 방전으로부터 보호하도록 설계된 소재입니다. 이 제품은 정전기를 효과적으로 흘려보낼 수 있도록 적정한 체적 저항률을 갖추고 있습니다.
StatSafe는 표면 코팅이 아닌 단일 재질로 설계되어 박리나 입자 탈락에 대한 우려가 줄어들며, 최대 500mm 직경 × 25mm 두께까지 정밀 가공 및 레이저 마킹이 가능합니다. 단일 재질 구조는 별도의 코팅이나 열처리 공정이 필요 없어 제품 설계의 비용 효율성도 높여줍니다.
StatSafe의 성능 핵심은 정밀하게 설계된 다상 미세구조에 있습니다. 쿠어스텍은 반도체 등급의 산화알루미늄을 기반으로, 내부에서 전도성 상이 형성되도록 조성해 정전기 소산 특성이 우수한 소재를 개발했습니다. 그 결과, 이 소재는 매우 높은 강성, 탁월한 정전기 소산 성능, 뛰어난 표면 마감(0.3μm), 탁월한 치수 안정성을 모두 갖추고 있습니다.
StatSafe 적용 사례:
- 엔드 이펙터
- 마이크로전자 부품
- 픽앤플레이스 툴
- 웨이퍼 핸들링 애플리케이션
ESD 안정화 코팅
ArcResist는 쿠어스텍이 개발한 독자적 코팅 기술로, 세라믹 부품의 전기적 특성을 필요한 표면에만 변화시킬 수 있도록 설계되었습니다. 이 코팅은 세라믹의 내부 물성을 손상시키지 않고 표면 특성만 조정할 수 있어, 고순도 알루미나의 절연성과 기계적 강도를 유지하면서도 용도에 따라 정전기 소산 또는 전도 특성을 부여할 수 있습니다. 자세히 알아보기 >>
STATSAFE 엔지니어드 세라믹 미세구조
귀사의 애플리케이션에 맞춘 맞춤형 ESD 안정화 솔루션에 대해 상담하시려면 쿠어스텍 담당자에게 문의해 주세요.
