합성 쿼츠 세라믹

제품군 개요

합성 석영 또는 용융 실리카(산화규소, SiO2) 세라믹은 매우 낮은 열팽창률과 극도의 순도로 인해 우수한 열충격 저항성을 나타냅니다. 이러한 독특한 특성과 열 안정성 덕분에 CoorsTek 석영은 급속 열처리, 광학, 단결정 실리콘 인출과 같은 중요한 반도체 제조 공정에 사용됩니다.

• 열충격 저항성
• 투과성
• 고순도
• 내식성

 

세라믹 전문성

귀사의 애플리케이션에 적합한 맞춤형 석영 솔루션에 대해 상담하시려면 쿠어스텍 전문가에게 문의해 주세요.

Sample Applications by Industry:

Electronics Flat Panel Display Components

Semiconductor Photomask Substrates Quartz Carbon Heaters (QCH)

속성	단위	값
굽힘 강도 (MOR) (20° C)	MPa	105
파괴 인성 (KIC)	MPa m1/2	—
열 전도율 (20°C)	W/m K	1.4 - 1.5
열팽창 계수	1x10-6/°C	0.5 - 0.65
최대 사용 온도	°C	1000 - 1100
유전 강도 (6.35mm)	ac-kV/mm	—
유전 손실 (탄젠트 델타)	1MHz, 25 °C	1.5 x 10-4
체적 저항율 (25°C)	Ω-cm	1018