실리콘 카바이드
제품군 개요
실리콘 카바이드(SiC)는 높은 경도, 내마모성, 내식성, 그리고 고온에서도 유지되는 강도를 특징으로 합니다. CoorsTek는 다양한 실리콘 카바이드 공정과 조성을 설계하여, 특정 응용 분야의 요구사항에 최적화된 성능과 특성을 제공합니다. 예:
전기 저항률: 정밀한 제조 공정을 통해 체적 저항률을 “조정”할 수 있습니다.
윤활: 일부 조성에는 입자 구조에 흑연을 삽입하여 약간의 굽힘 강도를 희생하는 대신 윤활 특성을 제공합니다.
고순도: CoorsTek PureSiC® CVD 실리콘 카바이드는 화학 기상 증착(CVD) 공정을 통해 초고순도(>99.9995%) 세라믹 부품 및 코팅을 생산합니다.
직접 소결 실리콘 카바이드
직접 소결된 실리콘 카바이드는 화학적 부식에 대해 매우 강한 저항성을 가집니다. 높은 최대 사용 온도와 경도가 결합되어, 방탄 소재는 물론 고부식성 환경 및 반도체 공정 챔버에서도 사용될 수 있습니다.
CeraSiC®
고온 강도뿐만 아니라 마모 및 내식성이 요구되는 기계 부품에 적합한 실리콘 카바이드 소재입니다.
반응 소결 실리콘 카바이드
반응 소결 실리콘 카바이드는 때때로 실리콘화 실리콘 카바이드라고도 하며, 실리콘 금속이 침투된 세라믹입니다. 이 침투 과정을 통해 기계적, 열적, 전기적 특성이 독특하게 결합되며, 용도에 맞게 조정될 수 있습니다.
PureSiC® CVD 실리콘 카바이드
화학 기상 증착(CVD) 방식의 실리콘 카바이드는 극한 환경에서도 부식을 견디며 실리콘 카바이드의 높은 강도와 우수한 내마모성을 유지합니다. 99.9995%에 이르는 탁월한 순도와 결합된 이 특성은 반도체 생산에 사용되는 초청정 제조 공정을 더욱 빠르고 효율적으로 만드는 데 기여하고 있습니다.
액상 소결 실리콘 카바이드
액상(LP) 소결 실리콘 카바이드는 낮은 기공률의 미세구조 덕분에 우수한 기계적 특성, 특히 높은 경도를 가집니다. 이러한 특성으로 인해 LP 실리콘 카바이드는 다양한 기계 장비 응용 분야에 뛰어난 소재로 평가받고 있습니다.
세라믹 전문 기술
CoorsTek은 세라믹 고유의 소재 특성을 극대화하기 위해 자체적으로 배합을 최적화합니다. 이는 정밀한 입자 구조 제어를 통해 입자 크기를 조절하는 과정을 포함합니다.
당사의 전문가들은 화학 기상 증착(CVD)이나 재결정화와 같은 다양한 제조 제어 기술을 활용하여 용도에 최적화된 소재를 생산할 수 있습니다.
브로셔 다운로드
PureSiC® 실리콘 카바이드: 반도체 응용 브로셔 다운로드
반도체 퍼니스 부품: 실리콘 카바이드 부품 브로셔 다운로드
산업별 샘플 응용 분야:
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항공우주 및 방위 산업
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반도체 산업 |
| 속성 | 단위 | 직소결 방식의 CeraSiC®-B |
SC-RB (SC 2) 반응 결합 |
직소결 방식의 흑연 UltraSiC™ GI |
액상 소결된 UltraSiC™ LP |
PureSiC® 고저항 CVD |
PureSiC® 저저항 CVD |
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굽힘 강도 (MOR) (20° C) |
MPa | 450 | 462 | 220 | 620 | 468 | 517 |
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파괴 인성 (KIC) |
MPa m1/2 | 3.5 | 4.0 | 3.2 | 6.0 | 3.5 | 3.5 |
|
열 전도율 (20 °C) |
W/m K | 170 | 125 | 125 | 80 | 140 | 140 |
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열팽창 계수 |
1x10-6/°C | 4.5 | 4.3 | 4.4 | 4.8 | 4.6 | 4.6 |
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최대 사용 온도 |
°C | 1500 | 1000 | 1600 | 1000 | 1600 | 1600 |
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유전 강도 (6.35mm) |
ac-kV/mm | — | — | — | — | — | — |
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유전 손실 (탄젠트 델타) |
1MHz, 25 °C | — | — | — | — | — | — |
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체적 저항율 (25°C) |
Ω-cm |
>104 |
<103 |
-105 |
— |
>105 | <0.1 |