재료/실리콘
제품군개요
단결정 실리콘(Si)은 실리콘 반도체 웨이퍼에 사용되는 동일한 소재로 거의 불순물이 없습니다. CoorsTek은 이 초고순도 실리콘을 사용하여 플레이트, 봉, 링 및 맞춤형 형태의 실리콘 웨이퍼 취급용 정밀 부품을 생산합니다.
| 속성 | 단위 | 값 |
| 굽힘 강도 (MOR) (20° C) | MPa | 300 |
| 파괴 인성 (KIC) | MPa m1/2 | — |
|
열 전도율 (20 °C) |
W/m K | 157 |
| 열팽창 계수 | 1x10-6/°C | 3.9 |
| 최대 사용 온도 | °C | 1300 |
| 유전 강도 (6.35mm) | ac-kV/mm | — |
| 유전 손실 (탄젠트 델타) | 1MHz, 25 °C | — |
| 체적 저항율 (25°C) | Ω-cm | 2.4 x 104 |