이트리아 산화물 세라믹
이트리아 개요
이트리아(산화 이트륨 Y₂O₃)는 희토류 계열의 세라믹으로, 탁월한 플라즈마 저항성과 고온 환경에서의 안정성을 모두 갖춘 소재입니다.
쿠어스텍의 Exyria™ 이트리아는 탁월한 내식성이 요구되는 부품에 대해 고체 부품뿐만 아니라 코팅 형태로도 적용할 수 있습니다. PlasmaResist™ 코팅을 세라믹 또는 금속 부품에 적용하면 순수 이트리아로 구성된 부식 저항 장벽을 형성할 수 있습니다.
- 플라즈마 저항성
- 높은 안정성
- 내열성
- 다양한 적용 방법
| 속성 | 단위 | 값 |
| 굽힘 강도 (MOR) (20° C) | MPa | 100 - 430 |
| 파괴 인성 (KIC) | MPa m1/2 | 1.0 - 4.0 |
|
열 전도율 (20 °C) |
W/m K | 10 - 14 |
| 열팽창 계수 | 1x10-6/°C | 7.9 - 8.2 |
| 최대 사용 온도 | °C | 2000 |
| 유전 강도 (6.35mm) | ac-kV/mm | 16.5 |
| 유전 손실 (탄젠트 델타) | 1MHz, 25 °C | 4 x 10-4 |
| 체적 저항율 (25°C) | Ω-cm | 1014 to 1016 |